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| 锗硅单晶扩散系数理论探讨及各晶向扩硼实验 | |
| 作者姓名： | 陈忠景 陈为民 林政伟 |
| 作者单位： | 浙江大学(陈忠景，陈为民)，浙江大学(林政伟) |
| 摘 要： | 本文从杂质原子在锗硅单晶三个主要晶向的扩散模型着手,对各晶向的扩散系数进行理论推导,得出了扩散系数各向同性的结论;介绍了实验结果,并给出硼在硅单晶三个主要晶向的扩散系数随温度变化的关系曲线;最后探讨了理论与实验偏离的原因. |
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