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单晶硅太阳电池的表面织构化
引用本文:席珍强,杨德仁,吴丹,张辉,陈君,李先杭,黄笑容,蒋敏,阙端麟.单晶硅太阳电池的表面织构化[J].太阳能学报,2002,23(3):285-289.
作者姓名:席珍强  杨德仁  吴丹  张辉  陈君  李先杭  黄笑容  蒋敏  阙端麟
作者单位:1. 浙江大学硅材料国家重点实验室,杭州,310027
2. 浙江大学分析测试中心,杭州,310027
3. 浙江大学半导体材料有限责任公司,杭州,310027
基金项目:国家自然科学基金项目 ( 5 9976 0 35 ),教育部高校博士基金、教育部优秀年轻教师基金
摘    要:一种新型的腐蚀剂 ,磷酸钠 (Na3PO4 ·12H2 O)溶液 ,首次被用来腐蚀单晶硅太阳电池。在 70℃下 ,用 3%的磷酸钠 (Na3PO4 ·12H2 O)溶液腐蚀 2 5min就能在硅片表面形成金字塔大小均匀、覆盖率高的绒面结构 ,并且其表面反射率也很低。通过SEM观察发现 :开始时 ,随着腐蚀时间的增加 ,金字塔的密度越来越大 ,最后达到饱和 ;而且对于不同的浓度 ,温度 ,这种饱和时间不同 ;如果腐蚀时间过长 ,金字塔的顶部就会发生崩塌 ,从而导致表面发射率的升高。虽然异丙醇 (IPA)在氢氧化钠 (NaOH)溶液中会明显地改善织构化的效果 ,但是在磷酸钠 (Na3PO4 ·12H2 O)溶液中却会对织构化有很强的负面效应。最后 ,在实验的基础上对腐蚀机理进行了深入地探讨并认为 :择优腐蚀是金字塔形成的最基本的原因 ,而缺陷、PO3 -4 或HPO2 -4 和异丙醇等仅仅是促进大金字塔形成的原因。这种腐蚀剂的成本很低 ,不易污染工作环境且可重复性好 ,所以有可能用于大规模生产。

关 键 词:单晶硅  织构  磷酸钠  腐蚀
文章编号:0254-0096(2002)03-0285-05
修稿时间:2001年1月3日

TEXTURIZATION OF MONOCRYSTALLINE SILICON FOR SOLAR CELLS
Xi Zhenqiang ,Yang Deren ,Wu Dan ,Zhang Hui ,Chen Jun Li Xianhang ,Huang Xiaorong ,Jiang Min ,Que Duanlin.TEXTURIZATION OF MONOCRYSTALLINE SILICON FOR SOLAR CELLS[J].Acta Energiae Solaris Sinica,2002,23(3):285-289.
Authors:Xi Zhenqiang  Yang Deren  Wu Dan  Zhang Hui  Chen Jun Li Xianhang  Huang Xiaorong  Jiang Min  Que Duanlin
Affiliation:Xi Zhenqiang 1,Yang Deren 1,Wu Dan 2,Zhang Hui 1,Chen Jun 1 Li Xianhang 1,Huang Xiaorong 3,Jiang Min 3,Que Duanlin 3
Abstract:
Keywords:
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