高真空排气过程计算机控制系统

高真空排气是真空电子器件生产过程中关键工艺。本文介绍的计算机实时控制系统被首次应用于滚生产过程中。文章阐述了该系统的控制模式,系统功能与硬件配置:系统软件开发以及其特点等内容。