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| 光学微结构超精密多轴铣削加工技术 | |
| 引用本文： | 焦洋洋,王素娟,刘强.光学微结构超精密多轴铣削加工技术[J].机床与液压,2014,42(13):28-31. |
| 作者姓名： | 焦洋洋 王素娟 刘强 |
| 作者单位： | 广东工业大学机电学院;广东省微纳加工技术与装备重点实验室; |
| 基金项目： | 广东省微纳加工技术与装备重点实验室资助项目(201001G0104781202);广东省教育厅产学研合作专项资金资助项目(2060403) |
| 摘 要： | 采用单点金刚石飞刀加工可以直接加工出具有纳米级的表面粗糙度和亚微米级形状精度的光学微结构元件而不需要后续处理。通过超精密飞刀加工微V沟槽的实验,分析了主轴转速、进给速度、切削深度和切削行间距对微V沟槽加工精度的影响,并对切削参数进行优化。最后,利用优化后的切削参数加工出微V沟槽结构。实验结果显示,超精密飞刀加工微V沟槽可达到满足光学微结构加工精度的要求。 |
| 关 键 词： | 光学微沟槽 飞刀加工 切削参数优化 加工精度 |
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