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Nikon公司加入了富有活力的深紫外光刻市场
摘 要:
Nikon公司加入了富有活力的深紫外光刻市场深紫外光刻市场将成为竞争场所。尼康美国分公司已推出NSR—5201A步进重复扫描系统,对SVGL公司提出挑战,是为256MDRAM和下代微处理机生产设计的。目前正接受定货,18个月后交货,价格大致为820万...
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