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纳米多孔SiO2/PI杂化薄膜的制备与性能研究
引用本文:田晶,张瑾,柳清菊,朱忠其,刘强,曾坤伟. 纳米多孔SiO2/PI杂化薄膜的制备与性能研究[J]. 功能材料, 2009, 40(5)
作者姓名:田晶  张瑾  柳清菊  朱忠其  刘强  曾坤伟
作者单位:云南大学,云南省高校纳米材料与技术重点实验室,云南,昆明,650091
基金项目:教育部新世纪优秀人才支持计划资助项目(NCET-04-0915);;云南省应用基础研究计划重点资助项目(2006E0001Z);;云南省教育厅科学研究基金资助项目(07Y41250);;云南省应用基础研究计划面上资助项目(2008CD076)
摘    要:采用碱催化正硅酸乙酯(TEOS)的溶胶-凝胶法与分子模板法相结合,通过旋转涂覆在硅衬底上制备了掺杂聚酰亚胺(PI)的纳米多孔SiO2薄膜,并利用差热分析(DSC-TGA)、红外吸收光谱(FTIR)、原子力显微镜(AFM)、X射线衍射(XRD)、台阶仪(Atom-ic-Profiler)等对薄膜的性能进行了分析表征.结果表明,所制备的SiO2/PI杂化多孔薄膜为多孔的无定型结构,具有较好的热稳定性及力学性能,一层膜和两层膜的平均孔径分别为68和72nm,厚度分别为917和1288nm.

关 键 词:纳米多孔SiO2/PI杂化薄膜  碱催化  溶胶-凝胶法

Preparation and characterization of nanoporous SiO_2/PI hybrid film
TIAN Jing , ZHANG Jin , LIU Qing-ju , ZHU Zhong-qi , LIU Qiang , ZENG Kun-wei. Preparation and characterization of nanoporous SiO_2/PI hybrid film[J]. Journal of Functional Materials, 2009, 40(5)
Authors:TIAN Jing    ZHANG Jin    LIU Qing-ju    ZHU Zhong-qi    LIU Qiang    ZENG Kun-wei
Affiliation:Yunnan Key Laboratory of Nanomaterials & Nanotechnology;Yunnan University;Kunming 650091;China
Abstract:The nanoporous SiO2/PI hybrid thin film were preparaed on silicon wafers via adoping base catalyzed TEOS sol-gel method,molecular template and spinning coating.The film were analyzed and characterized by DSC-TGA,FTIR,AFM,XRD and Atomic Profiler method.The results show that the nanoporous SiO2/PI hybrid thin film is porous and amorpgous which has good thermal stability and mechanical property.The average pore diameter is 68nm in one-layer film and 72nm in two-layer film.The average thickness of one-layer and...
Keywords:nanoporous SiO2/PI hybrid film  base catalyst morphology  sol-gel process  
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