| 时间监控离子束溅射沉积倍频波长分离膜 |
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| 引用本文： | 袁宏韬,张贵彦.时间监控离子束溅射沉积倍频波长分离膜[J].激光与红外,2007,37(4):370-372. |
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| 作者姓名： | 袁宏韬 张贵彦 |
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| 作者单位： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林,长春,130033;中国科学院研究生院,北京,100039;中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林,长春,130033;中国科学院研究生院,北京,100039 |
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| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(863计划)
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中国科学院基金 |
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| 摘 要： | 采用双离子束溅射技术、时间控厚方式制备波长532 nm绿光激光器用倍频波长分离膜.针对制备过程中产生的半波孔现象,在简单分析形成原因的基础上,采用分组厚度优化方式调整膜层厚度,从而制备出无半波孔的高品质倍频波长分离膜.为时间监控制备非规整膜系的厚度修正提供了一种切实可行的办法.
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| 关 键 词： | 倍频波长分离膜 时间监控 双离子束溅射 半波孔 |
| 文章编号： | 1001-5078（2007）04-0370-03 |
| 修稿时间： | 2006-09-04 |
Ion Beam Sputter Depositing Harmonic Beam Splitter by Time power Monitoring Method |
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| YUAN Hong-tao,ZHANG Gui-yan.Ion Beam Sputter Depositing Harmonic Beam Splitter by Time power Monitoring Method[J].Laser & Infrared,2007,37(4):370-372. |
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| Authors: | YUAN Hong-tao ZHANG Gui-yan |
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| Affiliation: | 1. Changchun Institute of Optics, Fine Mechanics and Physics, Chinese Academy of Sciences, Changchun 130033, China; 2. Graduate School of the Chinese Academy of Sciences, Beijing 100039, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | harmonic beam splitter time-power monitoring DIBS half-wave hole |
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