| 压入测试仪柔度标定方法研究 |
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| 引用本文： | 周向阳,蒋庄德,王海容. 压入测试仪柔度标定方法研究[J]. 仪器仪表学报, 2007, 28(1): 85-89 |
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| 作者姓名： | 周向阳 蒋庄德 王海容 |
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| 作者单位： | 机械制造系统工程国家重点实验室,西安,710049;西安交通大学精密工程研究所,西安,710049 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金;国家自然科学基金;国家重点基础研究发展计划(973计划) |
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| 摘 要： | 仪器柔度标定和位移校准是压入法测试的一项重要工作,通过对各种标定方法特点的综合比较认为Doerner-Nix法是一种理想的折中方法,结果相对可靠并易于操作。利用该法对微压入测试仪进行了标定,获得的柔度值为0．61×10-6m/N。仪器校准后得到的Si(100)弹性模量和硬度值与文献值符合较好,而未校准直接获得的2个测试值比校准后分别低21．5％和2．4％。
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| 关 键 词： | 压入法 仪器柔度 标定 力学性能 |
| 修稿时间： | 2005-12-01 |
Study on the calibration methods of machine compliance for depth-sensing indentation instrument |
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| Zhou Xiangyang,Jiang Zhuangde,Wang Hairong. Study on the calibration methods of machine compliance for depth-sensing indentation instrument[J]. Chinese Journal of Scientific Instrument, 2007, 28(1): 85-89 |
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| Authors: | Zhou Xiangyang Jiang Zhuangde Wang Hairong |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | MEMS |
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