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压电式微位移补偿机构

作者单位：	长春工业大学,机电工程学院,吉林,长春,130012;长春市新星锅炉厂,吉林,长春,130021

摘要：
关键词：	压电陶瓷微位移器件柔性铰链精密定位
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