基于128°YX-LiNbO3压电材料的DMS滤波器设计

设计了一种基于128°YX-LiNbO₃压电材料的双模耦合声表面波(DMS)滤波器。采用耦合模(COM)模型进行理论分析，得到DMS滤波器的二维器件模型，再采用COMSOL进行二维器件仿真分析，得到单级DMS滤波器。为了消除该DMS滤波器在其低端近阻带附近出现的肩峰，该文提出将DMS滤波器表面覆盖一层SiO₂薄膜，形成温度补偿结构，从而解决低端近阻带附近的肩峰。结果表明，设计的DMS滤波器的中心频率为891.0 MHz,最小插入损耗为-1.29 dB,1 dB带宽为34.0 MHz,相对带宽为3.8%,矩形系数为2.94,带外抑制约为-20 dB。