| 用于声表面波高温传感应变传递的过渡层薄膜 |
| |
| 引用本文： | 宋心雨,金浩,董树荣,骆季奎. 用于声表面波高温传感应变传递的过渡层薄膜[J]. 压电与声光, 2022, 44(6): 851-853 |
| |
| 作者姓名： | 宋心雨 金浩 董树荣 骆季奎 |
| |
| 作者单位： | 浙江大学 信息与电子工程学院,浙江省先进微纳电子器件与智能系统重点实验室,浙江 杭州 310027 |
| |
| 基金项目： | 科技部重点研发专项基金资助项目(No.2018YFB2002500)；国家基金区域创新基金资助项目(No.U20A20172,No.U1909212)；浙江省重点研发基金资助项目(No.2021C05004) |
| |
| 摘 要： | 声表面波(SAW)器件广泛应用于极端环境传感，硅酸镓镧(LGS)是常用高温压电晶体，但高温下应变胶因结合力导致应变传递效果不佳。该文研究了高温环境下应变传感的过渡层薄膜技术，提出了一种新的过渡层薄膜解决方案及其工艺技术，可实现高温应变胶水传递应变更稳定的效果。结果表明，采用溅射Al再氧化可显著提升LGS与高温胶的结合力，从而实现很好的应变传递，使用这种过渡层实现了500℃下超大量程(1 000με)测量。
|
| 关 键 词： | 高温应用 高温应变测量 应变传递 压电晶体 声表面波(SAW) |
Transition Layer Thin Film for Strain Transfer of Surface AcousticWave at High Temperature |
| |
| SONG Xinyu,JIN Hao,DONG Shurong,LUO Jikui. Transition Layer Thin Film for Strain Transfer of Surface AcousticWave at High Temperature[J]. Piezoelectrics & Acoustooptics, 2022, 44(6): 851-853 |
| |
| Authors: | SONG Xinyu JIN Hao DONG Shurong LUO Jikui |
| |
| Affiliation: | Zhejiang Key Laboratory of Advanced Micro-Nano Electronic Devices and Intelligent Systems,College of InformationScience and Electronic Engineering,Zhejiang University,Hangzhou 310027 ,China |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | |
|
| 点击此处可从《压电与声光》浏览原始摘要信息 |
|
点击此处可从《压电与声光》下载免费的PDF全文 |
