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计量测试技术在集成电路工业生产中的作用
作者姓名:王承武
作者单位:中国计量科学研究院 工程师
摘    要:集成电路计量测试工作,近年来随着半导体工业的发展而形成一个新的工作,对这项工作我们从实际需要出发,通过调研实践,得到以下一些体会。集成电路,尤其是大规模超大规模集成电路具有体积小重量轻性能稳定可靠。在成品率很高的基础上具有成本低价格便宜的优点。由此而促进电子工业发生革命性的飞跃,同时也促进了各行各业的技术发展,特别是电子计算机的发展。目前技术先进国家大规模集成电路

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