| 光反馈自混合干涉式微位移传感器 |
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| 引用本文： | 郭常盈,胡念英.光反馈自混合干涉式微位移传感器[J].仪表技术与传感器,2013(7). |
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| 作者姓名： | 郭常盈 胡念英 |
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| 作者单位： | 南阳理工学院计算机科学与技术系,河南南阳,473004 |
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| 摘 要： | 为了提高位移测量的精确度,提出了一种基于光反馈自混合干涉技术的位移测量方法.采用梯度最优算法分析和处理自混合干涉信号,达到数据理论的最佳拟合,实现微位移的精密测量,并通过设计算法对外部物体的运动轨迹进行重构.提出的传感器可用于亚微米级位移的测量和控制,并给出了PZT位移的实验结果.
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| 关 键 词： | 位移测量 半导体激光器 光反馈自混合干涉 梯度最优算法 |
Optical Feedback Self-mixing Interferometry for MicroDisplacement Measurement |
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| GUO Chang-ying
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HU Nian-Ying.Optical Feedback Self-mixing Interferometry for MicroDisplacement Measurement[J].Instrument Technique and Sensor,2013(7). |
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| Authors: | GUO Chang-ying HU Nian-Ying |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | displacement measurement semiconductor laser sensor optical feedback self-mixing interferometry gradient-based optimization algorithm |
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