| 用于同步辐射光束线工程的三维精密调整平台 |
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| 引用本文： | 夏绍建,张耀明,邹丽新.用于同步辐射光束线工程的三维精密调整平台[J].光学精密工程,2002,10(6):578-581. |
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| 作者姓名： | 夏绍建 张耀明 邹丽新 |
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| 作者单位： | 1. 中国科学院上海原子核研究所,上海,201800
2. 苏州大学,现代光学技术研究所,江苏,苏州,215006 |
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| 基金项目： | 国家重点工程项目＿上海同步辐射装置工程预制研究项目，苏州大学现代光学技术省重点实验室开放课题(No.T2108106) |
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| 摘 要： | 介绍了用于同步辐射光束线工程的三维精密调整平台结构原理,其特点是:结构紧凑,承载量大,精度高;采用步进电机驱动实现三维精密运动,并通过数字电路与软件实现其智能化,同时备有手动工作模式.
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| 关 键 词： | 同步辐射 光束 三维精密平台 |
| 文章编号： | 1004-924X(2002)06-0578-04 |
| 收稿时间： | 2002/4/5 |
| 修稿时间： | 2002年4月5日 |
High precision 3-D stage for synchrotron radiation beamline engineering |
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| XIA Shao-jian,ZHANG Yao-ming,ZOU Li-xin.High precision 3-D stage for synchrotron radiation beamline engineering[J].Optics and Precision Engineering,2002,10(6):578-581. |
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| Authors: | XIA Shao-jian ZHANG Yao-ming ZOU Li-xin |
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| Affiliation: | 1. Shanghai Institute of Nuclear Research, Academy of Sciences, Shangha, 201800;2. Suzhou University, Suzhou, 215006, China |
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| Abstract: | This paper briefly introduces the structural principle of a special 3_D stage for synchrotron radiation beamlines. The characteristics include compact structure, heavy load and high precision. It is step motor driven and digitally controlled by software in a PC. A manual operation mode is also reserved. |
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| Keywords: | synchrotron radiation beamline 3_D precision stage |
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