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| 真空玻璃集热管溅射α—C：H／Al—N／Al吸收涂层的研究 | |
| 作者姓名： | 王德荣 林彦奇 等 |
| 作者单位： | 王德荣（辽宁省环境保护科学研究所,辽宁,沈阳,110031） 林彦奇（辽宁省环境保护科学研究所,辽宁,沈阳,110031） 战余英（辽宁省环境保护科学研究所,辽宁,沈阳,110031） |
| 摘 要： | 用磁控溅射镀膜技术镀制太阳能集热管的涂层研究结果表明，用单一的铝靶极及氮气、乙炔气体等材料，经直流反应和非反应溅射，在玻璃管上镀制α－C：H／Al-N/Al选择性吸收涂层，其太阳吸收比αs=0.93-0.94，半球向发射比εh=0.07-0.08，与Al-N/Al选择性吸收涂层相比，反应溅射阶段镀膜时间缩短了59％。 |
| 关 键 词： | 真空玻璃集热管 选择性涂层 太阳能集热管 磁控溅射镀膜 铝－氮涂层 铝涂层 吸收涂层 |
| 文章编号： | 1002-0322(2001)06-0029-04 |
| 修稿时间： | 2001-10-06 |
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