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压阻型压力传感器灵敏度温漂及其补偿技术
引用本文:孙新宇 王鑫. 压阻型压力传感器灵敏度温漂及其补偿技术[J]. 半导体杂志, 1998, 23(1): 38-44
作者姓名:孙新宇 王鑫
作者单位:河北工业大学电子工程系
摘    要:就压阻型压力传感器的灵敏度温度漂问题进行述评,分析了灵敏度温漂产生的原因并提出解决灵敏度温漂的多种补偿方法。

关 键 词:压力传感器 灵敏度温漂 补偿技术

The Sensitivity Temperature Drift of Pressure Sensors and Its Compensation Techniques
Sun Xinyu Wang Xing Gao Zhenbing Meng Qinghao Yang Ruixia Sun Yicai. The Sensitivity Temperature Drift of Pressure Sensors and Its Compensation Techniques[J]. , 1998, 23(1): 38-44
Authors:Sun Xinyu Wang Xing Gao Zhenbing Meng Qinghao Yang Ruixia Sun Yicai
Abstract:This paper gives comments on the sensitivity temperature drift of pressure sensors, analyses the reasons that result in sensitivity temperature drift and presents some of methods to compensate it.
Keywords:pressure sensor sensitivity temperature drift compensation techniques
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