载气种类对微波CVD合成碳纳米管阵列生长的影响

以乙炔为碳源气体,采用微波辅助化学气相沉积法低温合成高纯度的垂直定向碳纳米管阵列。研究了分别以氮气和氩气为载气对碳纳米管阵列形貌结构的影响,并用扫描电子显微镜、透射电镜和拉曼光谱等手段对碳纳米管形貌与结构进行观察和分析。结果表明:以氮气为载气合成的碳纳米管阵列纯度较高,直径分布均匀。并对碳纳米管阵列在微波场下的生长机理进行分析探讨。