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| 5项电子气体标准通过审查 | |
| 摘 要： | 正《纯甲烷和高纯甲烷》等5项国家标准近日通过了全国气体标准化技术委员会、全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会、全国标准样品技术委员会气体标样工作组和全国气体标准化技术委员会气体分析分会组织的专家审查。全国气体标准化技术委员会近日在西安召开全 |
| 关 键 词： | 高纯甲烷 半导体设备 分会组织 技术委员会 标准样品 专家审查 国际先进标准 三氟甲烷 设计院副院长 联合会议 |
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