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| f-θ扫描物镜设计与研究 | |
| 引用本文： | 刘金荣.f-θ扫描物镜设计与研究[J].电子工业专用设备,2015(6). |
| 作者姓名： | 刘金荣 |
| 作者单位： | 中国电子科技集团公司第四十五研究所,北京,100176 |
| 摘 要： | 以初级像差理论为基础,借助ZEM A X 光学设计软件,通过建立合理的品质函数,优化设计得到了符合实际使用要求的f-θ聚焦物镜. |
| 关 键 词： | 半导体设备 f-θ透镜 线性 负畸变 |
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