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f-θ扫描物镜设计与研究

作者姓名：	刘金荣

作者单位：	中国电子科技集团公司第四十五研究所,北京,100176

摘要：	以初级像差理论为基础,借助ZEM A X 光学设计软件,通过建立合理的品质函数,优化设计得到了符合实际使用要求的f-θ聚焦物镜.
关键词：	半导体设备 f-θ透镜线性负畸变