负压吸浮式平面气垫的设计探讨

在精密工作台上,使用负压吸浮式平面气垫,可使工作台结构简单,并且具有较好的静动特性,易于实现高速度、高精度和高可靠性。是一种很有前途的气垫。本文探讨了这种气垫的工作原理及设计方法。以环形槽式小孔节流吸浮气垫为典型结构进行了分析,并得到了实验的证实,结果表明负压吸浮式平面气垫性能良好。