浅析用平面平晶检定仪器的平面度

本文以千分尺为对象,分析用平面平晶检定仪器平面度的方法和基本原理,以干涉带的形状来判断仪器的平面度。同时还分析了用平面平晶在检定千分尺平面度过程中的影响因素,并对其测量不确定度进行了评估。