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氦质谱检漏仪漏率校准方法探讨

作者姓名：	郭军

作者单位：	深圳市计量质量检测研究院;

摘要：	氦质谱检漏仪广泛应用于制冷行业、核工业、电子行业、真空行业、电力行业、航空航天等行业。根据其工作原理和技术性能指标,通过实验,总结通过氦质谱检漏仪对其漏率校准的方法。
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