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| SrTiO3斜切基片上外延生长YBa2Cu3O7—δ薄膜的扫描探针显微镜研究 | |
| 引用本文： | 时东霞,庞世瑾,等.SrTiO3斜切基片上外延生长YBa2Cu3O7—δ薄膜的扫描探针显微镜研究[J].真空科学与技术,2002,22(2):100-103. |
| 作者姓名： | 时东霞 庞世瑾 |
| 作者单位： | [1]东北大学机械工程与自动化学院，沈阳110004 [2]中科院物理所和凝聚态物理中心北京真空物理开放实验室，北京100080 |
| 摘 要： | 采用激光脉冲沉积法在钛酸锶SrTiO3（001）斜切基片上外延生长YBa2Cu3O7-δ薄膜，在大气环境下采用扫描探针显微镜对YBa2Cu3O7-δ薄膜的表面纳米形貌进行直接观察。发现YBa2Cu3O7-δ薄膜具有相对光滑的表面形貌，薄膜表面由沿SrTiO3台阶趋向外延生长的纳米台阶组成，薄膜生长模式主要以台阶媒体生长为主。 |
| 关 键 词： | SrTiO3斜切基片 外延生长 扫描探针显微镜 YBa2Cu3O7－δ 薄膜 表面形貌 钛酸锶 |
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