ZnO半导体气体传感器 |
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引用本文: | 钟仕科,付敏恭.ZnO半导体气体传感器[J].化学传感器,1985(1). |
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作者姓名: | 钟仕科 付敏恭 |
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作者单位: | 江西大学物理系,江西大学化学系 |
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摘 要: | 气体传感器从其材料与结构来说是多种多样的,但简单而又实用的气敏元件多采用金属氧化物半导体作为原料,其中ZnO、SnO_2和γ—Fe_2O_3是常用的检测还原性气体的敏感材料。这三种金属氧化物是一种N型半导体,当其表面吸附了电子给予性气体分子(例如H_2、CO等气体)时,由于半导体与气体分子之间费米能级的差异,会使电子从吸附于表面的气体分子向半导体方向运动,因此N型半导体的载流子密度加大,导电率增
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