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| Ⅲ—V族化合物半导体欧姆接触研究的进展 | |
| 引用本文： | 孙序文.Ⅲ—V族化合物半导体欧姆接触研究的进展[J].光通信研究,1987(2):45-49. |
| 作者姓名： | 孙序文 |
| 作者单位： | 山东农业机械化学院物理教研室 |
| 摘 要： | 本文介绍一种解释欧姆接触的比接触电阻ρ_c的新模型。并从理论上分析了利用RF溅射清洗半导体表面可使ρ_c降低的机理。 |
| 关 键 词： | 欧姆接触 半导体表面 比接触电阻 溅射清洗 肖特基势垒 金属-半导体接触 化合物半导体 |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |
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