| 超精密机床激光干涉测量系统误差分析及补偿 |
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| 引用本文： | 于宝成,王春梅.超精密机床激光干涉测量系统误差分析及补偿[J].机械制造,2005,43(10):63-65. |
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| 作者姓名： | 于宝成 王春梅 |
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| 作者单位： | 1. 华中科技大学机械学院,武汉·430073
2. 武汉化工学院计算机系 |
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| 摘 要： | 详细分析了超精密机床加工中,激光测量系统误差组成及其产生机理,给出了有效的修正和补偿手段.影响激光测量系统精度和重复精度的主要误差因素可分为3类：内部误差、环境误差和安装误差.通过实例分析精密机床四轴激光测量系统,设计出了四轴激光测量光路,实现超精密工作台的X、Y、Rz三自由度位置反馈,给出了影响测量精度的误差因素以及对系统精度的影响大小.
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| 关 键 词： | 激光测量 误差补偿 定位精度 测量精度 |
| 文章编号： | 1000-4998（2005）10-0063-03 |
| 收稿时间： | 2005-06-01 |
| 修稿时间： | 2005-06-01 |
Error Analysis and Compensation of Laser Interferometer Measuration System of Ultraprecision Machine Tools |
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| Yu BaoCheng;Wang ChunMei.Error Analysis and Compensation of Laser Interferometer Measuration System of Ultraprecision Machine Tools[J].Machinery,2005,43(10):63-65. |
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| Authors: | Yu BaoCheng;Wang ChunMei |
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