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硅栅CMOS IC抗电离辐射照加固工艺研究

引用本文：	甘勇,赵元富.硅栅CMOS IC抗电离辐射照加固工艺研究[J].微电子学与计算机,1989,6(12):15-18.

作者姓名：	甘勇赵元富

摘要：
关键词：	硅栅CMOS 集成电容电离辐照加固
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