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| 一种压阻微差压传感器的设计与无应力制造 | |
| 引用本文： | 尤彩红,张文栋,王文襄. 一种压阻微差压传感器的设计与无应力制造[J]. 仪表技术与传感器, 2009, 0(4) |
| 作者姓名： | 尤彩红 张文栋 王文襄 |
| 作者单位： | 1. 中北大学电子测试技术国家重点实验室,山西太原,030051;昆山双桥传感器测控技术有限公司,江苏昆山,215325 2. 中北大学电子测试技术国家重点实验室,山西太原,030051 3. 昆山双桥传感器测控技术有限公司,江苏昆山,215325 |
| 摘 要： | 介绍了一种MEMS硅压阻微差压传感器的力学敏感元件设计及无应力制造与封装技术.使用双岛梁膜结构,取得了很高的输出灵敏度及优良的线性度.合理的钝化层应力互补技术是无应力制造技术的核心.衬底强化设计和O型圈悬浮封装的巧妙结合实现了无应力封装.使用这些技术生产的微差压传感器已在多年的生产实践中和重大科研中成功应用. |
| 关 键 词： | 微差压传感器 微电子机械系统 无应力封装 |
Design and Non-stress Manufacture of Piezoresistive Low Difference Pressure Transducer |
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| YOU Cai-hong,ZHANG Wen-dong,WANG Wen-xiang. Design and Non-stress Manufacture of Piezoresistive Low Difference Pressure Transducer[J]. Instrument Technique and Sensor, 2009, 0(4) | |
| Authors: | YOU Cai-hong ZHANG Wen-dong WANG Wen-xiang |
| Abstract: | |
| Keywords: | |
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