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摘 要:
半导体工业用氮的生产网点美国空气产品与化学制品公司,已经扩大了在加利福尼亚、森尼维尔西部海岸的氮气厂,氮的生产能力达250吨/天。新森尼维尔厂生产的高纯氮气将被输送到空气产品公司的管道网里,通过硅谷供30多个半导体制造厂使用,并将由空气产品公司继续供气,以保证这地区的半导体工业的发展。该
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