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| 论不锈钢容器中烘烤对出气率与抽速关系的影响 | |
| 引用本文： | 李云生.论不锈钢容器中烘烤对出气率与抽速关系的影响[J].四川真空,1998(2):52-56. |
| 作者姓名： | 李云生 |
| 摘 要： | 为了研究真空系统中烘烤时对出气率与抽速关系的影响，在室温条件下未经烘烤和在室温条件下经过温度为１００℃和２５０℃烘烤的情况下，对出气率与抽速的关系进行了测量。测量所得出气率ｑ（Ｔｏｒｒ，ｌ／ｓ，ｃｍ＾２）遵循指数规律：ｑ＝（Ｃｓ／Ａ）＾ｍ，其中，ｃ和ｍ（０〈ｍ〈１）为常数：Ｓ／Ａ为抽气参数，其定义为抽速Ｓ（ｌ／ｓ）与真空容器表面积Ａ（ｃｍ＾２）之比，Ｓ／Ａ的变化范围从２．４６×１０＾－５到１．２６ |
| 关 键 词： | 出气率 烘烤影响 抽速关系 真空系统 不锈钢 |
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