首页
|
本学科首页
官方微博
|
高级检索
全部学科
医药、卫生
生物科学
工业技术
交通运输
航空、航天
环境科学、安全科学
自然科学总论
数理科学和化学
天文学、地球科学
农业科学
哲学、宗教
社会科学总论
政治、法律
军事
经济
历史、地理
语言、文字
文学
艺术
文化、科学、教育、体育
马列毛邓
全部专业
中文标题
英文标题
中文关键词
英文关键词
中文摘要
英文摘要
作者中文名
作者英文名
单位中文名
单位英文名
基金中文名
基金英文名
杂志中文名
杂志英文名
栏目中文名
栏目英文名
DOI
责任编辑
分类号
杂志ISSN号
微电子学、集成电路
摘 要:
TN4,TN305 97060399微机械加工技术—等离子体刻蚀/张光照,刘众(电子部49所)lj传感器技术一1997,16侈),一58一60 简要介绍了利用等离子体刻蚀技术制作背面接点的离子敏场效应管(IsFET)和马赫一增德(Mach一zchnder)干涉仪式压力传感器的方法.图5参4(许)TN4 97060400压电超声微电
本文献已被
CNKI
等数据库收录!
设为首页
|
免责声明
|
关于勤云
|
加入收藏
Copyright
©
北京勤云科技发展有限公司
京ICP备09084417号