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微电子学、集成电路
摘    要:TN4,TN305 97060399微机械加工技术—等离子体刻蚀/张光照,刘众(电子部49所)lj传感器技术一1997,16侈),一58一60 简要介绍了利用等离子体刻蚀技术制作背面接点的离子敏场效应管(IsFET)和马赫一增德(Mach一zchnder)干涉仪式压力传感器的方法.图5参4(许)TN4 97060400压电超声微电

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