| 基于AFM检测信息存储介质表面结构的研究 |
| |
| 引用本文： | 闫勇刚,马强,黄俊杰,刘万里,孙大许,梁智永.基于AFM检测信息存储介质表面结构的研究[J].微纳电子技术,2005,42(3):139-141. |
| |
| 作者姓名： | 闫勇刚 马强 黄俊杰 刘万里 孙大许 梁智永 |
| |
| 作者单位： | 河南理工大学精密工程研究所,河南,焦作,454003 |
| |
| 摘 要： | 介绍了原子力显微镜(AFM)的工作原理、组成、特点及其应用领域。利用AFM对光盘和软盘表面结构进行了三维检测,使用CSPM2000Imager软件对扫描得到的图像进行了计算和分析,由所得数据可以看出,DVD光盘将取代CD光盘成为外存的主流,而软盘将被淘汰;利用原子力显微镜对单晶硅进行基于金针的纳米加工,刻蚀出“河南理工大学”的字样。
|
| 关 键 词： | 原子力显微镜 信息存储介质 光盘 软盘 检测 |
| 文章编号： | 1671-4776(2005)03-0139-03 |
| 修稿时间： | 2004年9月22日 |
Study on the AFM-Based Detection Storage Medium Surface |
| |
| YAN Yong-gang,MA Qiang,HUANG Jun-jie,LIU Wan-li,SUN Da-xu,LIANG Zhi-yong.Study on the AFM-Based Detection Storage Medium Surface[J].Micronanoelectronic Technology,2005,42(3):139-141. |
| |
| Authors: | YAN Yong-gang MA Qiang HUANG Jun-jie LIU Wan-li SUN Da-xu LIANG Zhi-yong |
| |
| Abstract: | The working principle, structure, characteristic and application field of atomic force microscopy (AFM) are introduced. By AFM, the surface pattern of DVD and floppy disk are scanned and the images are analyzed with CSPM2000 imager software. The result shows that DVD will replace CD to dominate in storage medium, and floppy disk will be eliminated AFM used as a machining tool conducted nano-machining and the words “河南理工大学”were corroded out on the surface of the single crystal silicon. |
| |
| Keywords: | AFM storage medium optical disk floppy disk detection |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ |
|
