β射线反散射镀层测厚仪的原理、设计及应用

本文介绍β反散射镀层测厚仪的原理,并给出了设计仪器所依据的计算公式及定标方法,分析了其中各项参数的物理意义及影响因素。进一步讨论了测量误差与实验条件的关系,以及基体校正原理。进而介绍仪器的设计思想及仪器的主要指标和原理框图、最后举例说明其用途以期推广应用这一测量技术。