| 基于原子模型的各向异性腐蚀模拟方法对比分析 |
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| 引用本文： | 朱鹏,幸研,易红.基于原子模型的各向异性腐蚀模拟方法对比分析[J].传感技术学报,2007,20(12):2540-2544. |
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| 作者姓名： | 朱鹏 幸研 易红 |
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| 作者单位： | 东南大学机械工程学院先进制造技术实验室,南京,211189;东南大学机械工程学院先进制造技术实验室,南京,211189;东南大学机械工程学院先进制造技术实验室,南京,211189 |
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| 摘 要： | 分析了蒙特卡罗方法和元胞自动机法在微加工中各项异性腐蚀的特点和过程,开发了仿真系统,分别使用两种方法模拟使用掩模下的硅微加工过程.通过使用掩模获得的两个微结构的仿真结果,对元胞自动机和蒙特卡罗法的基本结果和特性进行了讨论和分析.两种方法在一定程度上都能正确地反映了实验的结果,元胞自动机在系统结构初步设计中能发挥更大的作用,而蒙特卡罗法能获得细致的表面结构,粗糙度等数据,在小尺度分析上具有更强的模拟能力.
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| 关 键 词： | 蒙特卡罗 元胞自动机 单晶硅 各向异性 湿法腐蚀 |
| 文章编号： | 1004-1699(2007)12-2540-05 |
| 修稿时间： | 2007年7月24日 |
Analysis of Atomistic Simulation Methods in Anisotropic Wet Etching |
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| ZHU Peng,XING Yan,YI Hong.Analysis of Atomistic Simulation Methods in Anisotropic Wet Etching[J].Journal of Transduction Technology,2007,20(12):2540-2544. |
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| Authors: | ZHU Peng XING Yan YI Hong |
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| Affiliation: | L aboratory of A dvanced Manuf acture , Department of Mechanical Engineering , S outheast Universit y |
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| Abstract: | The characteristics of Monte Carlo and Continuous Cellular Automata in anisot ropic etching are
analyzed by comparison of t he basic principles and calculation result s. The simulation systems of t he two
met hods are implemented with f unctionality of multi2masking processes. Both met hods can provide t he
correct micro st ruct ure during simulation. In Cellular Automata , t he st ruct ure surfaces show smoot h prop2
erty , which can be widely used in prototyping procedure , while in Monte Carlo , t he detailed surface mor2
p hology and roughness can be examined f rom t he outp ut data for t he p urpose of microscope research. |
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| Keywords: | Metropolis Mont Carlo Cellular Automata single crystal silicon anisotropic wet chemical etching |
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