| 掺钨类金刚石膜离子渗硫后的微观结构与摩擦学性能 |
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| 引用本文： | 岳文,高晓成,王松,付志强,王成彪,刘家浚.掺钨类金刚石膜离子渗硫后的微观结构与摩擦学性能[J].材料热处理学报,2012,33(12):121-125. |
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| 作者姓名： | 岳文 高晓成 王松 付志强 王成彪 刘家浚 |
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| 作者单位： | 1. 中国地质大学（北京）工程技术学院,北京,100083
2. 清华大学机械工程系,北京,100084 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金项目，中央高校基本业务费自由探索项目 |
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| 摘 要： | 探讨了掺钨类金刚石(W-DLC)膜沉积及离子渗硫两步合成DLC和WS2复合固体润滑膜的新方法。利用低温离子渗硫技术对4种钨含量的W-DLC膜进行离子渗硫处理,采用扫描电子显微镜(SEM)、俄歇扫描探针(SAM)、X射线光电子能谱(XPS)、拉曼光谱仪(Raman),纳米硬度计(Nano-indenter)和摩擦磨损试验机考察了渗硫处理后W-DLC膜的微观结构与摩擦学性能。结果表明:渗硫处理使W-DLC膜中生成了WS2,促进了DLC膜的石墨化,并降低了其纳米硬度;随钨含量增加,渗硫处理的W-DLC膜纳米硬度逐渐升高,摩擦系数和磨损率逐渐减小,渗硫后的27.7%W-DLC膜表现出最优异的摩擦学性能。
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| 关 键 词： | 掺钨类金刚石 低温离子渗硫 固体润滑膜 摩擦学性能 |
Microstructure and tribological behavior of sulfurized W-doped diamond-like carbon film |
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| YUE Wen,GAO Xiao-cheng,WANG Song,FU Zhi-qiang,WANG Cheng-biao,LIU Jia-jun.Microstructure and tribological behavior of sulfurized W-doped diamond-like carbon film[J].Transactions of Materials and Heat Treatment,2012,33(12):121-125. |
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| Authors: | YUE Wen GAO Xiao-cheng WANG Song FU Zhi-qiang WANG Cheng-biao LIU Jia-jun |
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| Affiliation: | 1.School of Engineering and Technology,China University of Geosciences(Beijing),Beijing 100083,China; 2.Department of Mechanical Engineering,Tsinghua University,Beijing 100084,China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | W-doped diamond-like carbon low temperature ion sulfuration solid lubrication film tribological behavior |
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