| 电容式微波功率传感器的MEMS悬臂梁力学模型 |
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| 引用本文： | 张焕卿,李龙飞,白雪婧,王德波. 电容式微波功率传感器的MEMS悬臂梁力学模型[J]. 微电子学, 2019, 49(3): 373-377 |
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| 作者姓名： | 张焕卿 李龙飞 白雪婧 王德波 |
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| 作者单位： | 南京邮电大学 电子与光学工程学院, 南京 210003,南京邮电大学 电子与光学工程学院, 南京 210003,南京邮电大学 电子与光学工程学院, 南京 210003,南京邮电大学 电子与光学工程学院, 南京 210003 |
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| 基金项目： | 国家青年自然科学基金资助项目(61704086)；江苏省青年自然科学基金资助项目(BK20140890)；南京邮电大学国自基金孵化资助项目(NY215139,NY217039) |
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| 摘 要： | 建立了MEMS悬臂梁的静态、动态力学解析模型。采用遍历搜索和龙格库塔算法,分析了在静电力作用下MEMS悬臂梁的运动规律。考虑到MEMS悬臂梁的引入对检测系统匹配特性的影响,在建立的力学模型的基础上研究了系统匹配特性的解析模型,得到MEMS梁与下拉极板的间距改变对系统匹配特性的影响。在8~12 GHz范围内,在8、9、10、11、12 GHz处的回波损耗仿真结果分别为－22.044 6、－21.141 5、－20.281 7、－19.562 0、－19.155 6 dB,而回波损耗测试结果分别为－22.044 6、－20.931 0、－19.948 2、－19.072 2、－18.285 2 dB。实验结果表明,通过建立的力学解析模型、匹配特性模型仿真得到的回波损耗仿真结果与测试结果较吻合,这对改善电容式微波功率检测系统的综合性能具有一定的指导意义。
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| 关 键 词： | 悬臂梁 动力学理论 龙格库塔算法 匹配特性 |
| 收稿时间： | 2018-08-05 |
Mechanical Model of MEMS Cantilever Beam of Capacitive Microwave Power Sensor |
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| ZHANG Huanqing,LI Longfei,BAI Xuejing and WANG Debo. Mechanical Model of MEMS Cantilever Beam of Capacitive Microwave Power Sensor[J]. Microelectronics, 2019, 49(3): 373-377 |
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| Authors: | ZHANG Huanqing LI Longfei BAI Xuejing WANG Debo |
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| Affiliation: | School of Electronics and Optical Engineering, Nanjing University of Posts and Telecommunications, Nanjing 210003, P. R. China,School of Electronics and Optical Engineering, Nanjing University of Posts and Telecommunications, Nanjing 210003, P. R. China,School of Electronics and Optical Engineering, Nanjing University of Posts and Telecommunications, Nanjing 210003, P. R. China and School of Electronics and Optical Engineering, Nanjing University of Posts and Telecommunications, Nanjing 210003, P. R. China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | |
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