|
|||||
|
|
| 半导体行业特种气体气源柜研发及应用 | |
| 引用本文： | 曹文林.半导体行业特种气体气源柜研发及应用[J].化工设计通讯,2021(2):27-28. |
| 作者姓名： | 曹文林 |
| 摘 要： | 在半导体行业器件生产过程中,气源柜是输送、控制特种气体的重要设备.近年来,随着我国光伏发电、平板显示器、超大规模集成电路等产业的迅速发展,拉动电子气的需求,对气源柜的要求也更高.设计特种气体气源柜的关键,是以保证气源安全使用为基础,提升生产效率,同时为客户提供方便.根据特种气体的性质及使用环境,研发设计特种气体气源柜,... |
| 关 键 词： | 半导体行业 特种气体 气源柜 研发 应用 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |