| 一种工艺误差校准的低功耗温度传感器 |
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| 引用本文： | 张祎,何洪楷,赵野,杨林.一种工艺误差校准的低功耗温度传感器[J].微电子学,2019,49(3):360-365. |
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| 作者姓名： | 张祎 何洪楷 赵野 杨林 |
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| 作者单位： | 中国科学院大学 微电子学院, 北京 100029;中国科学院微电子研究所, 北京 100029;长江存储科技有限责任公司, 武汉 430205,长江存储科技有限责任公司, 武汉 430205,中国科学院微电子研究所, 北京 100029,长江存储科技有限责任公司, 武汉 430205 |
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| 基金项目： | 国家重点研发计划“新能源汽车专项”项目(2016YFB0100516) |
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| 摘 要： | 采用一种新的张弛振荡器,实现了一种不受工艺影响的低功耗片上温度传感器。将与温度成正比的电流输入到振荡器,产生与温度成正比的频率,再利用计数器来实现频率到数字的转换。振荡器通过数字逻辑产生两种模式,分别控制受温度控制的振荡器(TDO)和对温度不敏感的振荡器(TIO),这两种模式只需1个振荡器和1个计数器,减小了面积和功耗。采取工艺粗校准和工艺精校准两步校准,减小了工艺偏差。实验结果表明,经过两步校准后,在-40 ℃到120 ℃范围内,温度传感器的分辨率为0.08 ℃/LSB,温度传感器的最大误差为+0.35 ℃/-0.6 ℃。在1.2 V电源电压、120 ℃温度的条件下,电路总功耗仅为23 μW。
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| 关 键 词： | 温度传感器 频率-数字转换器 工艺偏差 逻辑控制 |
| 收稿时间： | 2018/8/10 0:00:00 |
A Low Power Temperature Sensor with Process Error Calibration |
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| ZHANG Yi,HE Hongkai,ZHAO Ye and YANG Lin.A Low Power Temperature Sensor with Process Error Calibration[J].Microelectronics,2019,49(3):360-365. |
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| Authors: | ZHANG Yi HE Hongkai ZHAO Ye and YANG Lin |
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| Affiliation: | School of Microelec., Univ.of Chinese Acad.of Sci., Beijing 100029, P.R.China;Institute of Microelec., Chinese Acad.of Sci., Beijing 100029, P.R.China;Yangtze Memory Technologies Co.Ltd., Wuhan 430205, P.R.China,Yangtze Memory Technologies Co.Ltd., Wuhan 430205, P.R.China,Institute of Microelec., Chinese Acad.of Sci., Beijing 100029, P.R.China and Yangtze Memory Technologies Co.Ltd., Wuhan 430205, P.R.China |
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