| 软印刷法便捷制备非晶Zn-Sn-O场效应晶体管 |
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| 引用本文： | 杜晓松,沈秋华.软印刷法便捷制备非晶Zn-Sn-O场效应晶体管[J].固体电子学研究与进展,2022,42(1):33-37. |
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| 作者姓名： | 杜晓松 沈秋华 |
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| 作者单位： | 常州大学微电子与控制工程学院,江苏,常州,213164,中芯长电半导体(江阴)有限公司,江苏,江阴,214400 |
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| 基金项目： | 常州大学引进人才启动经费资助项目;江苏省六大人才高峰计划资助项目;常州市领军型创新人才引进培育项目;江苏省高层次创新创业人才引进计划资助项目 |
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| 摘 要： | 在柔性透明电子学领域,非晶氧化物半导体是场效应晶体管的关键材料.采用了一种简单、低成本的方法,即软印刷技术制备高性能的锌锡氧化物Zn-Sn-O(ZTO)底栅型场效应晶体管(FETs).利用自组装单分子膜(SAM)进行微接触印刷,制备了铟锡氧化物(ITO)源漏电极和ZTO晶体管沟道材料.柔性聚合物印章被用于SAMs的图形...
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| 关 键 词： | 非晶氧化物半导体 场效应晶体管 软印刷 微接触印刷 柔性电子 |
Facile Fabrication of Amorphous Zn-Sn-O FET via Soft Lithography |
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| DU Xiaosong,SHEN Qiuhua.Facile Fabrication of Amorphous Zn-Sn-O FET via Soft Lithography[J].Research & Progress of Solid State Electronics,2022,42(1):33-37. |
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| Authors: | DU Xiaosong SHEN Qiuhua |
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