低能电子束设备与应用

低能电子束是一种先进的底层共性技术,美国、日本及欧洲发达国家从20世纪80年代开始就将该技术广泛应用于各种高科技产品的生产制造过程中。由于进口电子束设备及配套工艺和原材料的价格昂贵,严重制约了低能电子束技术在国内的推广。近年来,国内自主研发低能电子束设备技术的快速进步,降低了下游行业的进入门槛,有力推进了国内企业在新材料、新技术、新工艺上的研究,突破了行业发展瓶颈,使低能电子束及应用迎来快速发展。