锆管表面沉积Cr-TiAlSiN复合涂层的表面形貌与性能研究

分别采用多弧离子镀和中频非平衡磁控溅射工艺，在锆合金管材基体上制备Cr-TiAlSiN复合涂层。利用扫描电镜对复合涂层的表面及截面微观形貌进行观察；利用Image J软件对复合涂层进行孔隙率和表面大颗粒数目进行统计分析；利用弹簧拉压试验机对涂层的膜基结合强度进行测量；利用高温热处理炉对试样进行800℃高温抗氧化试验和1200℃高温淬火实验。实验结果表明：采用多弧离子镀工艺所获得的涂层表面大颗粒物质比较多，但是孔隙率比较低，致使其高温抗氧化性能较好。复合涂层膜基界面比较明显且比较均匀，膜基结合强度较高，大于22.68Mpa，1200℃高温淬火实验侧面表明采用多弧离子镀工艺的涂层其膜基结合强度较好。