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用MOCVD方法生长940nm应变多量子阱发光二极管
引用本文:于永芹 黄柏标 等. 用MOCVD方法生长940nm应变多量子阱发光二极管[J]. 光电子.激光, 2002, 13(7): 682-684
作者姓名:于永芹 黄柏标 等
作者单位:1. 山东大学晶体材料国家重点实验室,山东,济南,250100
2. 山东大学晶体材料国家重点实验室,山东,济南,250100;山东华光光电子有限公司,山东,济南,250101
3. 山东华光光电子有限公司,山东,济南,250101
摘    要:采用金属有机物化学气相淀积(MOCVD)方法设计并生长了应变多量子阱InGaAs/AlGaAs,并且对其进行了光致发光(PL)谱、双晶X射线衍射(DXRD)谱和电化学C-V等的测试。然后以InGaAs/AlGaAs作为有源层,以GaAs衬底作为透明衬底,p面金属电极AuBe合金作为镜面反射层,采用倒装技术制备了近红外发光二极管(LED)。在输入电流为20mA下的正向电压为1.2V左右,电致发光谱的峰值波长为938nm,10μA下的反向击穿电压为5-6V,在输入电流为50mA下得出输出功率3.5mW,对应电压为1.3V,在输入电流为300mA时得到最大输出功率为12mW。

关 键 词:发光二极管 LED 应变多量子阱 金属有机物化学气相淀积 MOCVD 倒装技术
文章编号:1005-0086(2002)07-0682-03
修稿时间:2001-12-24

MOCVD Growth of 940 nm Strained Multi-quantum Well Light Emitting Diodes
YU Yong-qin,HUANG Bai-biao,ZHOU Hai-long,WEI Ji-yong,PAN Jiao-qing,YUE Jin-shun,LI Shu-qiang,CHEN Wen-lan,QI Yun,QIN Xiao-yan,ZHANG Xiao-yang,WANG Du-xiang,REN Zhong-xiang. MOCVD Growth of 940 nm Strained Multi-quantum Well Light Emitting Diodes[J]. Journal of Optoelectronics·laser, 2002, 13(7): 682-684
Authors:YU Yong-qin  HUANG Bai-biao  ZHOU Hai-long  WEI Ji-yong  PAN Jiao-qing  YUE Jin-shun  LI Shu-qiang  CHEN Wen-lan  QI Yun  QIN Xiao-yan  ZHANG Xiao-yang  WANG Du-xiang  REN Zhong-xiang
Affiliation:1.State Key L
Abstract:
Keywords:LED  Strained multi-quantum wells  MOCVD  p-side down
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