| 低红外发射率TiO2/AgxCU1-x/Ti/TiO2纳米多层膜 |
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| 引用本文： | 刘海鹰,刁训刚,王丽玲,杨盟,武哲,舒远杰.低红外发射率TiO2/AgxCU1-x/Ti/TiO2纳米多层膜[J].功能材料与器件学报,2007,13(1):7-12. |
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| 作者姓名： | 刘海鹰 刁训刚 王丽玲 杨盟 武哲 舒远杰 |
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| 作者单位： | 北京航空航天大学理学院凝聚态物理与材料物理中心,北京,100083;北京航空航天大学航空科学与技术学院,北京,100083;中国工程物理研究院化工材料研究所,绵阳,621900 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金
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中国工程物理研究院"双百"人才基金 |
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| 摘 要： | 利用磁控溅射制备了银含量在100％至80％之间的单层银铜合金薄膜和TiO2／AgxCu-1x／Ti／TiO2：纳米四层膜。利用x射线衍射、扫描电子显微镜、扫描俄歇微探针，分光光度计、红外发射率测量仪对样品进行表征，研究了单层金属膜和多层膜的光学、电学性质随着银含量的变化以及热处理前后薄膜性能的变化。结果表明：相同厚度的合金膜，随着Ag含量的降低，导电性能下降，Ag含量低于80％的合金已不适合作为多层膜的金属层；1500C大气下热处理30min，纯银薄膜性质发生明显变化，明视透过率下降10％，方块电阻由2．5W／口增加至18W／□，红外发射率由0．17增加到0．69。AgCu合金薄膜性质未发生明显变化。方块电阻相近的TiO2／AgxCu1-x／Ti／TiO2纳米多层膜，经250℃大气下热处理40min后，TiO2／Ag／Ti／TiO2和TiO2／Ag80Cu20／Ti／TiO2纳米多层膜的性质变化较小，热稳定性较好，其余的多层膜性质发生较大变化，红外发射率显著增加。
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| 关 键 词： | TiO2/AgxCu1-x/Ti/TiO2纳米多层膜 低红外发射率 磁控溅射 |
| 文章编号： | 1007-4252(2007)01-0007-06 |
| 修稿时间： | 2006年1月23日 |
Low- emissivity TiO2/AgxCu1 -x/Ti/TiO2 nano -multilayer films |
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| LIU Hai-ying,DIAO Xun-gang,WANG Li-ling,YANG Meng,WU Zhe,SHU Yuan-jie.Low- emissivity TiO2/AgxCu1 -x/Ti/TiO2 nano -multilayer films[J].Journal of Functional Materials and Devices,2007,13(1):7-12. |
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| Authors: | LIU Hai-ying DIAO Xun-gang WANG Li-ling YANG Meng WU Zhe SHU Yuan-jie |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | TiO2/AgxCu1-x/Ti/TiO2 nano-multilayer films low-emissivity magnetron sputtering |
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