摘 要: | 一、制定的意义、目的和根据 扩散泵性能试验方法是泵的制造单位和使用单位极为关心的问题,目前在世界上很多国家都先后建立了国家标准。如美国真空协会标准委员会在1954 年提出了“蒸汽泵性能率标准”[1]。苏联电子工业部真空研究所在1956年制定了“扩散泵及抽汽机组主要参数测试规程”[2]。日本在1959年也公布了日本工业标准“蒸汽喷射泵性能试验方法──JIS.B.8317-1959”[3]。其他各国主要生产单位也都有自己的企业标准。 我国目前还没有颁发统一标准,国内所用方法很多:如苏联、日本、佛洛累斯柯和压差法等方法。由于方法的不统一,对…
|