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| 测压范围10~5到10~(-3)帕简易的氮化钽薄膜规 | |
| 引用本文： | 盐山 ,泷口 ,小川 ,张万河.测压范围10~5到10~(-3)帕简易的氮化钽薄膜规[J].真空,1981(5). |
| 作者姓名： | 盐山 泷口 小川 张万河 |
| 作者单位： | [日] |
| 摘 要： | 因为氮化钽薄膜具有适合于提高灵敏度的、宽的热传导区、电阻值合适以及电阻温度系数大等优点,通过实验研究,证实了用氮化钽薄膜测量定范围的压力,已经取得较好的结果。这些试验引出一个新的薄膜系统结构,该系统是通过反应性等离子体溅射,在小型的、7059康宁玻璃基片上淀积氮化钽薄膜而成的。用它可以测量105到10-3帕范围的压力变化。本文给出了氮化钽薄膜规性能的详细说明和校准曲线。 一、引言 皮拉尼真空计测量压力的原理,是基于加热体和周围气体间的热交换速率与压力的依赖关系。这种真空规能相当迅速地记录真空系统的压力变化,其优点在… |
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