| MOD法制备的Pb0.985La0.01(Zr0.4Ti0.6)O3 |
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| 引用本文： | 马建华,孟祥建,孙璟兰,褚君浩.MOD法制备的Pb0.985La0.01(Zr0.4Ti0.6)O3[J].无机材料学报,2005,20(1):163-168. |
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| 作者姓名： | 马建华 孟祥建 孙璟兰 褚君浩 |
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| 作者单位： | 中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室,上海,200083 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(60221502,60223006);上海市A-M基金(0306) |
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| 摘 要： | 采用金属有机分解法(MOD)在LNO(100)／Si衬底上制备了Pb0．985La0．01(Zr0．4Ti0.6)O3铁电薄膜，在薄膜的快速退火过程中，增加了一个中间温度预退火过程，并研究了该过程对薄膜晶型结构和铁电性能的影响．结果发现，中间温度预退火过程可以影响薄膜对晶型结构的选择．没有中间温度预退火过程的薄膜，显示出(100)择优取向；而经中间温度预退火的薄膜则表现为随机取向．对薄膜铁电性能的研究表明，没有中间温度预退火过程的薄膜的铁电性能较差，经380℃预退火的薄膜显示出最佳的铁电性能．晶型结构取向和缺陷是影响PLZT。薄膜铁电性能的两个主要因素．
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| 关 键 词： | PLZT薄膜 中间温度预退火 晶型结构 铁电性能 |
| 文章编号： | 1000-324X(2005)01-0163-06 |
| 收稿时间： | 2003-12-4 |
| 修稿时间： | 2004-2-11 |
Crystallinity and Ferroelectricity of MOD-derived Pb0.985La0.01(Zr0.4Ti0.6)O3 Thin Films |
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| MA Jian-Hua,MENG Xiang-Jian,SUN Jing-Lan,CHU Jun-Hao.Crystallinity and Ferroelectricity of MOD-derived Pb0.985La0.01(Zr0.4Ti0.6)O3 Thin Films[J].Journal of Inorganic Materials,2005,20(1):163-168. |
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| Authors: | MA Jian-Hua MENG Xiang-Jian SUN Jing-Lan CHU Jun-Hao |
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| Affiliation: | NationalLaboratoryforInfraredPhysics,ShanghaiInstituteofTechnicalPhysics,ChineseAcademyofSciences,Shanghai200083,China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | PLZT thin films intermediate pre-annealing process crystallinity ferroelectricity |
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