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| φ50mm多层GaAs气相外延技术 | |
| 作者姓名： | 程祺祥 许毅 |
| 作者单位： | 机电部南京五十五所(程祺祥，许毅)，机电部南京五十五所(王秀珍) |
| 摘 要： | 介绍了自行设计制造的φ50～76mm GaAs气相外延系统特点,多层GaAs外延生长技术,微机控制程序,分析了外延材料的均匀性;报道了此类材料在多种GaAs MESFET和GaAs IC研制方面的应用结果。 |
| 关 键 词： | 砷化镓 汽相外延生长 |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |
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