大口径(φ125mm)紫外(248nm)介质膜镀制 |
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引用本文: | 刘金成,王骐.大口径(φ125mm)紫外(248nm)介质膜镀制[J].哈尔滨工业大学学报,1993,25(5):96-100. |
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作者姓名: | 刘金成 王骐 |
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作者单位: | 哈尔滨工业大学光电子技术研究所,哈尔滨工业大学航天力学与工程系,哈尔滨工业大学航天力学与工程系 副研究员 |
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摘 要: | 报导了用DMD-450机镀制大口径(φ125mm)紫外(248nm)均匀高反膜及增透膜,工装简单实用,解决了大口径基片的放置,用可见光监控紫外涂镀及膜片均匀性三个问题,摸索了氧化铪膜料蒸发工艺。结果达到激光器要求。
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关 键 词: | 大口径 紫外膜 镀制 介质膜 |
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