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| 大口径（φ125mm）紫外（248nm）介质膜镀制 | |
| 作者姓名： | 刘金成 王骐 |
| 作者单位： | 哈尔滨工业大学光电子技术研究所，哈尔滨工业大学航天力学与工程系，哈尔滨工业大学航天力学与工程系 副研究员 |
| 摘 要： | 报导了用ＤＭＤ－４５０机镀制大口径（φ１２５ｍｍ）紫外（２４８ｎｍ）均匀高反膜及增透膜，工装简单实用，解决了大口径基片的放置，用可见光监控紫外涂镀及膜片均匀性三个问题，摸索了氧化铪膜料蒸发工艺。结果达到激光器要求。 |
| 关 键 词： | 大口径 紫外膜 镀制 介质膜 |
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